半導体製造装置用材料
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半導体製造装置用材料:軟磁性材料

軟質磁性材料マップ

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ラインナップ

高い透磁率で保磁力が低い特性です。

合金名 JIS合金記号 一般名称 適用部材例
(※)
可能製造形状 相当規格
冷延帯 ASTM JIS
MENPD PD インバー 各種製造・検査機器 - C2531
MENPB PB - 各種製造・検査機器 A753 C2531
MENPB-S - - 各種製造・検査機器 - - -  
MENPC-1 PC - 各種製造・検査機器 A753 C2531
MENPC-2 PC - 各種製造・検査機器 - C2531
MENPC-2S - - 各種製造・検査機器 - - - -
  • ※適用部材例は実施例から抜粋しています。
  • ※詳細の可能製造形状については個別にお問い合わせ下さい。
    ◎:標準製品 〇:製造可能商品 -:製品対象外

化学成分

直流磁気特性(実績例)

合金名 JIS合金
記号
一般
名称
化学成分(wt%)
C Mn P S Mo Cu Ni Fe
MENPD PD インバー ≦0.01 0.50 ≦0.020 ≦0.020 - - 36.0 bal.
MENPB PB - ≦0.01 0.50 ≦0.020 ≦0.020 - - 46.0 bal.
MENPB-S - - ≦0.01 0.50 ≦0.020 ≦0.020 - - 48.0 bal.
MENPC-1 PC - ≦0.01 0.50 ≦0.020 ≦0.020 5.5 - 81.0 bal.
MENPC-2 PC - ≦0.01 0.50 ≦0.020 ≦0.015 4.5 3.5 78.0 bal.
MENPC-2S - - ≦0.01 0.50 ≦0.020 ≦0.015 4.5 3.5 78.0 bal.

その他特徴

合金名 初透磁率
μi
最大透磁率
μm
保磁力 Hc
(A/m)
磁束密度
B800(T)
MENPD -5,000 -25,000 -8 -1.2
MENPB -10,000 -80,000 -5 -1.5
MENPB-S -10,000 -100,000 -3.5 -1.5
MENPC-1 -90,000 -190,000 -0.95 -0.75
MENPC-2 -110,000 -200,000 -0.80 -0.75
MENPC-2S -130,000 -300,000 -0.75 -0.7
  • ※磁気特性:磁気なまし(1,100℃×2h 炉冷 乾燥水素露点≦-50℃)を施した試験片を測定
  • ※B800:磁界強さ800A/mに於ける磁束密度
合金名 合金の一般特性
MENPD 極低温から約200℃までの熱膨張係数が極めて小さく、体積抵抗率が大きい特徴があり、高周波特性も優れています。
MENPB 飽和磁束密度が大きく保磁力の比較的小さいNi-Fe系軟磁性合金で、各種電子機器のコア・可動片・シールドなどに使われます。
MENPB-S 成分の細かいコントロールと熱処理の組合せで、保磁力はMENPBより小さい合金です。
MENPC-1 初透磁率(μi)が大きく、保磁力が極めて小さいNi-Fe-Mo系軟磁性合金です。
MENPC-2 初透磁率(μi)が大きく、保磁力が極めて小さいNi-Fe-Cu-Mo系軟磁性合金です。
MENPC-2S 基本成分はMENPC-2と同じですが、成分の細かいコントロールにより、MENPC-2よりさら初透磁率を高めています。

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